| 企业等级： | 普通会员 |
| 经营模式： | 生产加工 |
| 所在地区： | 北京 大兴区 |
| 联系卖家： | 于磊 先生 |
| 手机号码： | 15611171559 |
| 公司官网： | www.wayes-vac.com |
| 公司地址： | 北京市大兴区旧桥路25号院东亚五环国际3号楼1203室 |
| 价格： | ￥286000.00/台 |
MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机
真空腔室：直径450✕H400mm，1Cr18Ni9Ti不锈钢材质，，前开门结构； 真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）； 极限真空：优于5✕10-5Pa（经烘烤除气后）； 真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min； 升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能； 磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材； 溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选； 质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加； 膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪； 控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
热线电话：15611171559
